传感技术学报2006,Vol.19Issue(5B):P.2047-2049,3.
隧穿磁强计驱动电压的理论计算与实验验证
汤学华 1尤政 2胡晓莉1
作者信息
- 1. 上海电机学院机械学院,上海200245
- 2. 清华大学精密仪器与机械学系,北京100084
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摘要
关键词
隧穿效应/磁强计/微机电系统/驱动电压分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
汤学华,尤政,胡晓莉..隧穿磁强计驱动电压的理论计算与实验验证[J].传感技术学报,2006,19(5B):P.2047-2049,3.基金项目
北京大学微米纳加工技术国家重点实验室基金资助 ()