传感技术学报2006，Vol.19Issue(5B)：P.2054-2056,3.
形状参数对MEMS霍尔器件性能影响研究
宋明歆 1宫纯青 1贺训军 1殷景华 1刘晓为2
作者信息
- 1. 哈尔滨理工大学应用科学学院,哈尔滨150080
- 2. 哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨150001
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摘要
关键词
MEMS/有限元法/霍尔器件/器件结构分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
宋明歆,宫纯青,贺训军,殷景华,刘晓为..形状参数对MEMS霍尔器件性能影响研究[J].传感技术学报,2006,19(5B):P.2054-2056,3.
