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低矫顽力GMR磁传感器的自旋阀结构研究

刘鹏 李伟 刘华瑞 叶双莉 任天令 刘理天

传感技术学报2006，Vol.19Issue(5B)：P.2061-2064,4.
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传感技术学报2006，Vol.19Issue(5B)：P.2061-2064,4.

低矫顽力GMR磁传感器的自旋阀结构研究

刘鹏 1李伟 1刘华瑞 1叶双莉 1任天令 1刘理天1

作者信息

  • 1. 清华大学微电子学研究所,北京100084
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摘要

关键词

自旋阀/复合自由层/横向退火工艺

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

刘鹏,李伟,刘华瑞,叶双莉,任天令,刘理天..低矫顽力GMR磁传感器的自旋阀结构研究[J].传感技术学报,2006,19(5B):P.2061-2064,4.

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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