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基于自旋阀的GMR线性传感器的制作

李伟 刘华瑞 刘鹏 任天令 刘理天

传感技术学报2006,Vol.19Issue(5B):P.2065-2067,4.
传感技术学报2006,Vol.19Issue(5B):P.2065-2067,4.

基于自旋阀的GMR线性传感器的制作

李伟 1刘华瑞 1刘鹏 1任天令 1刘理天1

作者信息

  • 1. 清华大学微电子学研究所,北京100084
  • 折叠

摘要

关键词

自旋阀/巨磁电阻/线性传感器

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

李伟,刘华瑞,刘鹏,任天令,刘理天..基于自旋阀的GMR线性传感器的制作[J].传感技术学报,2006,19(5B):P.2065-2067,4.

基金项目

国家自然基金支持(90607021) (90607021)

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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