传感技术学报2006，Vol.19Issue(5B)：P.2142-2144,3.
结合LAPS及纳米多孔硅的气体传感器研究
摘要
关键词
LAPS/多孔硅/气体检测/传感器/化学MEMS分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
宗小林,蔡华,余辉,王平..结合LAPS及纳米多孔硅的气体传感器研究[J].传感技术学报,2006,19(5B):P.2142-2144,3.基金项目
国家自然科学基金资助项目(30570492) （30570492）
浙江省人才基金项目资助(R205505) （R205505）
