|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|传感技术学报|一种双轴电容式微机械加速度计

一种双轴电容式微机械加速度计

任杰 樊尚春

传感技术学报2006，Vol.19Issue(5B)：P.2174-2176,3.
✕
传感技术学报2006，Vol.19Issue(5B)：P.2174-2176,3.

一种双轴电容式微机械加速度计

任杰 1樊尚春1

作者信息

  • 1. 北京航空航天大学仪器学院,北京100083
  • 折叠

摘要

关键词

微机电系统/微机械加速度计/有限元分析

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

任杰,樊尚春..一种双轴电容式微机械加速度计[J].传感技术学报,2006,19(5B):P.2174-2176,3.

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文