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采用数字校正、PWM反馈技术的硅微加速度计

安康 苏岩

传感技术学报2006，Vol.19Issue(5B)：P.2233-2235,3.
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传感技术学报2006，Vol.19Issue(5B)：P.2233-2235,3.

采用数字校正、PWM反馈技术的硅微加速度计

安康 1苏岩2

作者信息

  • 1. 东南大学仪器科学与工程系,南京210096
  • 2. 南京理工大学机械工程学院,南京210094
  • 折叠

摘要

关键词

硅微加速度计/数字控制/PWM/静电力反馈

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

安康,苏岩..采用数字校正、PWM反馈技术的硅微加速度计[J].传感技术学报,2006,19(5B):P.2233-2235,3.

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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