传感技术学报2006,Vol.19Issue(5B):P.2252-2254,2259,4.
一种用于差分电容检测的电荷Delta-Sigma调制器的研究
王展飞 1李志宏1
作者信息
- 1. 北京大学微电子研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京100871
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摘要
关键词
电容检测/Delta-Sigma/电容传感器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王展飞,李志宏..一种用于差分电容检测的电荷Delta-Sigma调制器的研究[J].传感技术学报,2006,19(5B):P.2252-2254,2259,4.