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一种用于差分电容检测的电荷Delta-Sigma调制器的研究

王展飞 李志宏

传感技术学报2006,Vol.19Issue(5B):P.2252-2254,2259,4.
传感技术学报2006,Vol.19Issue(5B):P.2252-2254,2259,4.

一种用于差分电容检测的电荷Delta-Sigma调制器的研究

王展飞 1李志宏1

作者信息

  • 1. 北京大学微电子研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京100871
  • 折叠

摘要

关键词

电容检测/Delta-Sigma/电容传感器

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王展飞,李志宏..一种用于差分电容检测的电荷Delta-Sigma调制器的研究[J].传感技术学报,2006,19(5B):P.2252-2254,2259,4.

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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