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常压下工作的微机械陀螺的频率和阻尼特性

刘晓为 陈宏 陈伟平 陆学斌 韩天

传感技术学报2006，Vol.19Issue(5B)：P.2268-2271,4.
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传感技术学报2006，Vol.19Issue(5B)：P.2268-2271,4.

常压下工作的微机械陀螺的频率和阻尼特性

刘晓为 1陈宏 1陈伟平 1陆学斌 1韩天1

作者信息

  • 1. 哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨150001
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摘要

关键词

微机械电子系统/陀螺/阻尼匹配/频率特性

分类

航空航天

引用本文复制引用

刘晓为,陈宏,陈伟平,陆学斌,韩天..常压下工作的微机械陀螺的频率和阻尼特性[J].传感技术学报,2006,19(5B):P.2268-2271,4.

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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