传感技术学报2006，Vol.19Issue(5B)：P.2297-2299,2303,4.
圆形振动膜硅微电容传声器
摘要
关键词
声学微电子机械系统/硅微电容传声器/圆型振动膜分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
田静,汪承灏,徐联,乔东海,马军,郝震宏,魏建辉..圆形振动膜硅微电容传声器[J].传感技术学报,2006,19(5B):P.2297-2299,2303,4.基金项目
国家自然科学基金SOC重大科研计划重点项目资助(90207003 （）
90607003) （）
国家863项目资助 （）
