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MEMS结构中碳纳米管的电泳沉积及其场发射特性研究

郭琳瑞 陈烽 叶雄英 刘力涛 伍康 周兆英

传感技术学报2006,Vol.19Issue(5B):P.2340-2343,4.
传感技术学报2006,Vol.19Issue(5B):P.2340-2343,4.

MEMS结构中碳纳米管的电泳沉积及其场发射特性研究

郭琳瑞 1陈烽 1叶雄英 1刘力涛 1伍康 1周兆英1

作者信息

  • 1. 清华大学精密仪器及机械学系
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摘要

关键词

微机电系统(MEMS)/纳机电系统(NEMS)/碳纳米管/场发射

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

郭琳瑞,陈烽,叶雄英,刘力涛,伍康,周兆英..MEMS结构中碳纳米管的电泳沉积及其场发射特性研究[J].传感技术学报,2006,19(5B):P.2340-2343,4.

基金项目

国家自然科学基金资助(50375083) (50375083)

高等学校博士学科点专项科研基金资助(20040003065) (20040003065)

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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