传感技术学报2006，Vol.19Issue(5A)：P.1323-1326,4.
一种可支持任意流程的MEMS设计工具
摘要
关键词
MEMS设计工具/设计自动化/任意流程/网表/实体模型/版图分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
常洪龙,谢建兵,徐景辉,阎子健,苑伟政..一种可支持任意流程的MEMS设计工具[J].传感技术学报,2006,19(5A):P.1323-1326,4.基金项目
863项目资助(2005AA404240) （2005AA404240）
国家自然科学基金资助(50505038) （50505038）
