传感技术学报2006，Vol.19Issue(5A)：P.1330-1332,1336,4.
硅基压电多层膜悬臂梁的偏转模型和优化设计
方华军 1刘理天 1任天令1
作者信息
- 1. 清华大学微电子学研究所,北京100084
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摘要
关键词
MEMS/压电多层膜/悬臂梁/微执行器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
方华军,刘理天,任天令..硅基压电多层膜悬臂梁的偏转模型和优化设计[J].传感技术学报,2006,19(5A):P.1330-1332,1336,4.基金项目
国家自然科学重点基金支持(90407023) （90407023）
