传感技术学报2006，Vol.19Issue(5A)：P.1368-1371,4.
基于模态分析的静电驱动圆薄板宏模型建立方法
摘要
关键词
微机电系统（MEMS）/宏模型/模态分析方法/静电驱动分类
机械制造引用本文复制引用
林谢昭,应济..基于模态分析的静电驱动圆薄板宏模型建立方法[J].传感技术学报,2006,19(5A):P.1368-1371,4.基金项目
国家自然科学基金项目资助(50105020 （）
50475104) （）
福州大学科技发展基金项目(2004-XY-10) （2004-XY-10）
