传感技术学报2006，Vol.19Issue(5A)：P.1372-1375,4.
MEMS器件自动优化算法
赖文滨 1李伟华1
作者信息
- 1. 东南大学微电子中心MEMS教育部重点实验室,南京210096
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摘要
关键词
MEMS器件/自动优化算法/结构参数/悬臂梁分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
赖文滨,李伟华..MEMS器件自动优化算法[J].传感技术学报,2006,19(5A):P.1372-1375,4.基金项目
国家杰出青年科学基金资助项目(50325519) （50325519）
