传感技术学报2006，Vol.19Issue(5A)：P.1401-1403,3.
基于带图形的硅衬底上制备硅薄膜的技术
张正元 1徐世六 1冯建 1胡明雨1
作者信息
- 1. 四川固体电路研究所军用模拟集成电路国防重点实验室,重庆400060
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摘要
关键词
可动部件/硅薄膜/MEMS分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张正元,徐世六,冯建,胡明雨..基于带图形的硅衬底上制备硅薄膜的技术[J].传感技术学报,2006,19(5A):P.1401-1403,3.基金项目
国防重点实验室重点基金项目资助(A1120060490) （A1120060490）
