传感技术学报2006，Vol.19Issue(5A)：P.1500-1503,5.
MEMS显微干涉测量系统中相移器性能的研究
摘要
关键词
微机电系统/显微干涉术/相移器/误差分析分类
机械制造引用本文复制引用
郭彤,胡春光,陈津平,傅星,胡小唐..MEMS显微干涉测量系统中相移器性能的研究[J].传感技术学报,2006,19(5A):P.1500-1503,5.基金项目
国家863计划资助(2004AA404042) （2004AA404042）
博士后科学基金资助项目 （）
国家863计划资助(2004AA404042) （2004AA404042）
博士后科学基金资助项目 （）
