传感技术学报2006，Vol.19Issue(5A)：P.1512-1515,4.
应用于纳米测量机的MEMS微接触式测头的结构设计和优化
李源 1栗大超 1胡小唐 1赵大博 1郭彤 1陈津平1
作者信息
- 1. 天津大学测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072
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摘要
关键词
MEMS/微接触式测头/纳米测量机/结构设计/优化分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李源,栗大超,胡小唐,赵大博,郭彤,陈津平..应用于纳米测量机的MEMS微接触式测头的结构设计和优化[J].传感技术学报,2006,19(5A):P.1512-1515,4.
