传感技术学报2006，Vol.19Issue(5A)：P.1523-1526,4.
SU-8胶微结构的尺寸公差研究
秦江 1杜立群 1刘冲 1朱神渺2
作者信息
- 1. 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连116023
- 2. 大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,大连116023
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摘要
关键词
SU-8胶/菲涅耳衍射/尺寸公差/紫外光刻分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
秦江,杜立群,刘冲,朱神渺..SU-8胶微结构的尺寸公差研究[J].传感技术学报,2006,19(5A):P.1523-1526,4.基金项目
国家863计划重点资助项目(2004AA404260) （2004AA404260）
