传感技术学报2006，Vol.19Issue(5A)：P.1693-1696,4.
光致硅微悬臂梁形变理论研究
郭育林 1许谷城 1周嘉 1黄宜平 1鲍敏杭1
作者信息
- 1. 复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系,上海200433
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摘要
关键词
光致应变效应/微悬臂梁/弯曲分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
郭育林,许谷城,周嘉,黄宜平,鲍敏杭..光致硅微悬臂梁形变理论研究[J].传感技术学报,2006,19(5A):P.1693-1696,4.基金项目
国家自然科学基金项目资助(60476032) （60476032）
