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基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究

赵全斌 焦继伟 杨恒 林梓鑫 李铁 张颖 王跃林

传感技术学报2006，Vol.19Issue(5A)：P.1705-1708,4.
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传感技术学报2006，Vol.19Issue(5A)：P.1705-1708,4.

基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究

赵全斌 1焦继伟 1杨恒 1林梓鑫 1李铁 1张颖 1王跃林1

作者信息

  • 1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
  • 折叠

摘要

关键词

双端固支硅纳米梁/压阻检测/Ar离子轰击/谐振特性

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

赵全斌,焦继伟,杨恒,林梓鑫,李铁,张颖,王跃林..基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究[J].传感技术学报,2006,19(5A):P.1705-1708,4.

基金项目

973项目资助(2006CB00403) （2006CB00403）

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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