传感技术学报2006，Vol.19Issue(5A)：P.1731-1734,4.
一种低成本光通信用MEMS可变光衰减器
李海军 1杨拥军 1王建军 2徐永青 1郑七龙 1陈维友3
作者信息
- 1. 中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄050051
- 2. 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900
- 3. 吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点实验室吉林大学实验区,长春130023
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摘要
关键词
微机械/光学微机电系统/可变光衰减器/波分复用分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李海军,杨拥军,王建军,徐永青,郑七龙,陈维友..一种低成本光通信用MEMS可变光衰减器[J].传感技术学报,2006,19(5A):P.1731-1734,4.
