人工晶体学报2010，Vol.39Issue(B06)：P.43-47,6.
基于X射线sin^2φ法的择优取向金刚石膜残余应力分析
摘要
关键词
择优取向/金刚石膜/残余应力/X射线sin^2φ分类
数理科学引用本文复制引用
李晓伟,常明..基于X射线sin^2φ法的择优取向金刚石膜残余应力分析[J].人工晶体学报,2010,39(B06):P.43-47,6.基金项目
天津市科技计划项目(10JCYBJC05900) （10JCYBJC05900）
天津市高等学校科技发展基金项目(No.20050519) （No.20050519）
