人工晶体学报2010，Vol.39Issue(B06)：P.118-122,5.
溅射气压对直流电源磁控溅射制备掺铝氧化锌薄膜性能的影响
摘要
关键词
磁控溅射/氧化锌薄膜/溅射气压分类
数理科学引用本文复制引用
李林娜,陈新亮,孙建,耿新华,赵颖..溅射气压对直流电源磁控溅射制备掺铝氧化锌薄膜性能的影响[J].人工晶体学报,2010,39(B06):P.118-122,5.基金项目
天津市科技攻关项目(No.06YFGZGX02100) （No.06YFGZGX02100）
国家重点基础研究发展计划(973)项目(No.2006CB202602,2006CB202603) （973）
天津市应用基础及前沿技术研究计划(No.09JCYBJC06900) （No.09JCYBJC06900）
