人工晶体学报2010，Vol.39Issue(B06)：P.131-134,5.
化学气相沉积工艺制备碳化硅晶须的研究
孟凡涛 1杜善义 2张宇民2
作者信息
- 1. 哈尔滨工业大学复合材料研究所,哈尔滨150001 山东理工大学材料科学与工程学院,淄博255049
- 2. 哈尔滨工业大学复合材料研究所,哈尔滨150001
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摘要
关键词
碳化硅晶须/化学气相沉积/VS机理/反应烧结碳化硅分类
数理科学引用本文复制引用
孟凡涛,杜善义,张宇民..化学气相沉积工艺制备碳化硅晶须的研究[J].人工晶体学报,2010,39(B06):P.131-134,5.
