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人工晶体学报
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磷掺杂微晶硅薄膜激活能特性研究
磷掺杂微晶硅薄膜激活能特性研究
陈庆东
王俊平
张宇翔
卢景霄
人工晶体学报
2010，Vol.39
Issue(B06)：P.135-138,4.
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人工晶体学报
2010，Vol.39
Issue(B06)
：P.135-138,4.
磷掺杂微晶硅薄膜激活能特性研究
陈庆东
1
王俊平
1
张宇翔
2
卢景霄
2
作者信息
1.
滨州学院物理与电子科学系,滨州256600
2.
郑州大学材料物理教育部重点实验室,郑州450052
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摘要
关键词
PECVD
/
微晶硅
/
电导
/
激活能
分类
数理科学
引用本文
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陈庆东,王俊平,张宇翔,卢景霄..磷掺杂微晶硅薄膜激活能特性研究[J].人工晶体学报,2010,39(B06):P.135-138,4.
人工晶体学报
OA
北大核心
CSCD
CSTPCD
ISSN：
1000-985X
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