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N_2O氮化LPCVD氧化物可靠性的改进

徐静平 钟德刚 于军

华中科技大学学报：自然科学版2001，Vol.29Issue(A01)：P.22-24,3.
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华中科技大学学报：自然科学版2001，Vol.29Issue(A01)：P.22-24,3.

N_2O氮化LPCVD氧化物可靠性的改进

徐静平 1钟德刚 1于军1

作者信息

  • 1. 华中科技大学电子科学与技术系
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摘要

关键词

MOS电容/低压化学汽相淀积/氧化物/一氧化二氮/氮化

分类

信息技术与安全科学

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徐静平,钟德刚,于军..N_2O氮化LPCVD氧化物可靠性的改进[J].华中科技大学学报：自然科学版,2001,29(A01):P.22-24,3.

华中科技大学学报：自然科学版

OA北大核心CSCD

1671-4512

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