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PECVD法非晶硅薄膜对太阳能级n型直拉单晶硅片钝化效果的研究

龚洪勇 周浪 黄海宾 向昱任 汪已琳 张东华 高江 崔冶青

太阳能Issue(1):32-34,3.
太阳能Issue(1):32-34,3.

PECVD法非晶硅薄膜对太阳能级n型直拉单晶硅片钝化效果的研究

龚洪勇 1周浪 1黄海宾 1向昱任 1汪已琳 1张东华 1高江 1崔冶青1

作者信息

  • 1. 南昌大学太阳能光伏学院&材料科学与工程学院
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摘要

关键词

氢化非晶硅/PECVD/钝化/太阳能级n型硅片

引用本文复制引用

龚洪勇,周浪,黄海宾,向昱任,汪已琳,张东华,高江,崔冶青..PECVD法非晶硅薄膜对太阳能级n型直拉单晶硅片钝化效果的研究[J].太阳能,2013,(1):32-34,3.

太阳能

1003-0417

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