中国光学2013，Vol.6Issue(1)：20-33,14.DOI:10.3788/CO.20130601.0020
激光等离子体极紫外光刻光源
Laser-produced plasma light source for extreme ultraviolet lithography
摘要
关键词
极紫外光刻/激光等离子体/极紫外光源/转换效率分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
窦银萍,孙长凯,林景全..激光等离子体极紫外光刻光源[J].中国光学,2013,6(1):20-33,14.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.61178022) （No.61178022）
吉林省科技厅资助项目(No.20111812) （No.20111812）
