中国光学2013，Vol.6Issue(1)：57-63,7.DOI:10.3788/CO.20130601.0057
支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响
Influence of mounting stress on wavefront distortion of lithographic object lens
摘要
关键词
光学设计/光刻投影物镜/波前畸变/应力双折射/融石英/元件支撑分类
机械制造引用本文复制引用
王平,田伟,王汝冬,王立朋..支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响[J].中国光学,2013,6(1):57-63,7.基金项目
国家科技重大专项(02专项)资助项目(No.2009ZX02205) （02专项）
