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磁控溅射氧化钛薄膜的光学性能

程芳 黄美东 王丽格 杜姗 唐晓红 刘春伟

天津师范大学学报(自然科学版)2013,Vol.33Issue(1):55-58,4.
天津师范大学学报(自然科学版)2013,Vol.33Issue(1):55-58,4.

磁控溅射氧化钛薄膜的光学性能

Optical properties of titanium oxide film by magnetron sputtering

程芳 1黄美东 1王丽格 1杜姗 1唐晓红 1刘春伟1

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摘要

关键词

氧化钛薄膜/磁控溅射/透射率/折射率/光学性能/消光系数/晶体结构

分类

数理科学

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程芳,黄美东,王丽格,杜姗,唐晓红,刘春伟..磁控溅射氧化钛薄膜的光学性能[J].天津师范大学学报(自然科学版),2013,33(1):55-58,4.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(61078059) (61078059)

天津师范大学学术创新推进计划资助项目(52X09038) (52X09038)

天津师范大学学报(自然科学版)

1671-1114

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