天津师范大学学报(自然科学版)2013,Vol.33Issue(1):55-58,4.
磁控溅射氧化钛薄膜的光学性能
Optical properties of titanium oxide film by magnetron sputtering
摘要
关键词
氧化钛薄膜/磁控溅射/透射率/折射率/光学性能/消光系数/晶体结构分类
数理科学引用本文复制引用
程芳,黄美东,王丽格,杜姗,唐晓红,刘春伟..磁控溅射氧化钛薄膜的光学性能[J].天津师范大学学报(自然科学版),2013,33(1):55-58,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(61078059) (61078059)
天津师范大学学术创新推进计划资助项目(52X09038) (52X09038)