强激光与粒子束2013，Vol.25Issue(6)：1375-1378,4.DOI:10.3788/HPLPB20132506.1375
射频功率对类金刚石薄膜性能的影响
Effect of RF power on properties of diamond-like carbon films
陈林林 1张殷华 2黄伟1
作者信息
- 1. 中国科学院光电技术研究所,成都610209
- 2. 中国科学院大学,北京100049
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摘要
关键词
射频功率/射频等离子体化学气相沉积/类金刚石薄膜/Raman光谱分类
数理科学引用本文复制引用
陈林林,张殷华,黄伟..射频功率对类金刚石薄膜性能的影响[J].强激光与粒子束,2013,25(6):1375-1378,4.
