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衬底和热处理温度对ZnO薄膜的微观结构的影响

吴小亮 丁士华 杨晓静 鲁云

西华大学学报(自然科学版)2013,Vol.32Issue(3):15-17,37,4.
西华大学学报(自然科学版)2013,Vol.32Issue(3):15-17,37,4.DOI:10.3969/j.issn.1673-159X.2013.03.003

衬底和热处理温度对ZnO薄膜的微观结构的影响

Effect of Substrates and Heat-treatment Temperature on the Microstructure of ZnO Film

吴小亮 1丁士华 1杨晓静 2鲁云3

作者信息

  • 1. 西华大学材料科学与工程学院,四川成都610039
  • 2. 西华大学能源与环境学院,四川成都610039
  • 3. 千叶大学工学研究科,千叶263-8522,日本
  • 折叠

摘要

关键词

sol-gel法/c轴取向/ZnO薄膜/热处理

分类

数理科学

引用本文复制引用

吴小亮,丁士华,杨晓静,鲁云..衬底和热处理温度对ZnO薄膜的微观结构的影响[J].西华大学学报(自然科学版),2013,32(3):15-17,37,4.

基金项目

国家自然科学基金(11074203) (11074203)

教育部春晖计划(Z2022077) (Z2022077)

西华大学学报(自然科学版)

OACSTPCD

1673-159X

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