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射频磁控溅射制备CdS多晶薄膜及其性能研究

江海波黎兵肖心举丁超明振训冯良桓张静全

四川大学学报（自然科学版）2013，Vol.50Issue(3)：585-589,5.

四川大学学报（自然科学版）2013，Vol.50Issue(3)：585-589,5.DOI:10.3969/j.issn.0490-6756.2013.03.031

Preparation and characterization of CdS thin films by RF-magnetron sputtering

江海波 ¹黎兵 ¹肖心举 ¹丁超 ¹明振训 ¹冯良桓 ¹张静全¹

作者信息

射频磁控溅射法/CdS多晶薄膜/溅射功率

能源科技

江海波,黎兵,肖心举,丁超,明振训,冯良桓,张静全..射频磁控溅射制备CdS多晶薄膜及其性能研究[J].四川大学学报（自然科学版）,2013,50(3):585-589,5.

国家863课题(2011AA050519) （2011AA050519）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：0490-6756

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