长春工程学院学报（自然科学版）2013，Vol.14Issue(2)：106-108,3.DOI:10.3969/j.issn.1009-8984.2013.02.030
射频磁控溅射制备碲化铋热电薄膜性能研究
The Properties to Electric Bi2Te3 Films Prepared by RF Sputtered Bismuth
摘要
关键词
Bi2Te3薄膜/热电/Seebeck系数/射频磁控溅射分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
贯丛,徐毅,高金宇,姜亚梅,冯亮..射频磁控溅射制备碲化铋热电薄膜性能研究[J].长春工程学院学报（自然科学版）,2013,14(2):106-108,3.基金项目
国家自然科学基金资助项目(51071074) （51071074）
吉林省科技发展计划资助项目(120100060) （120100060）
