电子器件2013，Vol.36Issue(2)：235-238,4.DOI:10.3969/j.issn.1005-9490.2013.02.022
一种新型MEMS加速度传感器的研制
Design on a New Type of MEMS Acceleration Sensor
摘要
关键词
MEMS传感器/加速度/动态特性/电路设计分类
交通工程引用本文复制引用
杨要恩,孙幸成,王庆敏..一种新型MEMS加速度传感器的研制[J].电子器件,2013,36(2):235-238,4.基金项目
国家高技术研究发展计划(863计划)项目(2009AA11Z102) （863计划）
河北省科技厅科技支撑计划项目(11213589) （11213589）
河北省教育厅重点项目科研计划项目(ZH2012077,Z2012145) （ZH2012077,Z2012145）
