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霍尔离子源辅助制备长波红外碳化锗增透膜

王彤彤

发光学报2013,Vol.34Issue(3):319-323,5.
发光学报2013,Vol.34Issue(3):319-323,5.DOI:10.3788/fgxb20133403.0319

霍尔离子源辅助制备长波红外碳化锗增透膜

Fabrication of The Long-wave Infrared Germanium Carbide Antireflection Coatings by End-Hall Ion Source

王彤彤1

作者信息

  • 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室,吉林长春 130033
  • 折叠

摘要

关键词

碳化锗/长波红外增透膜/离子辅助/霍尔离子源

分类

数理科学

引用本文复制引用

王彤彤..霍尔离子源辅助制备长波红外碳化锗增透膜[J].发光学报,2013,34(3):319-323,5.

基金项目

国家自然科学基金(60478035)资助项目 (60478035)

发光学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-7032

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