机械科学与技术2013，Vol.32Issue(4)：551-557,7.
基于RSM的SiC单晶片表面粗糙度预测及参数优化
Predicting Surface Roughness of SiC Monocrystal Wafer and Optimizing Its Parameters Using Response Surface Method
摘要
关键词
响应曲面法(RSM)/SiC单晶片/表面粗糙度预测/参数优化分类
机械制造引用本文复制引用
万波,李淑娟..基于RSM的SiC单晶片表面粗糙度预测及参数优化[J].机械科学与技术,2013,32(4):551-557,7.基金项目
国家自然科学基金项目(51175420),陕西省科技攻关项目(2010K09-01)和陕西省教育厅基金项目(11JK0849/11JS074)资助 （51175420）
