天津师范大学学报（自然科学版）2013，Vol.33Issue(3)：39-42,4.
溅射功率对氧化铝薄膜结构和光学性能的影响
Effects of sputtering power on structure and optical properties of Al2O3 thin films
摘要
关键词
氧化铝薄膜/射频磁控溅射/晶体结构/光学性能/溅射功率/折射率/消光系数分类
数理科学引用本文复制引用
唐晓红,黄美东,王丽格,杜姗,刘春伟..溅射功率对氧化铝薄膜结构和光学性能的影响[J].天津师范大学学报（自然科学版）,2013,33(3):39-42,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(61078059) （61078059）
天津师范大学创新计划资助项目(52X09038) （52X09038）
