硅酸盐通报2013，Vol.32Issue(7)：1306-1310,1317,6.
组成对锆钛酸铅铁电薄膜电性能影响的研究进展
Research Progress on Effect of Composition on the Electrical Properties of Lead Zirconate Titanate Ferroelectric Thin Films
摘要
Abstract
Lead zirconate titanate is widely used as capacitor,piezoelectric devices,ferroelectric random access memory and so on because of its excellent dielectric,piezoelectric and ferroelectric properties.Effects of Zr/Ti ratio and dopant on dielectric and ferroelectric properties of lead zirconate titanate thin films are summarized in this paper.Finally,some problems on doping of lead zirconate titanate thin films are proposed.关键词
锆钛酸铅/组成/掺杂/介电/铁电Key words
lead zirconate titanate/ composition/ doping/ dielectric/ ferroelectric分类
化学化工引用本文复制引用
钟世兴,蔡苇,符春林,刘凯华..组成对锆钛酸铅铁电薄膜电性能影响的研究进展[J].硅酸盐通报,2013,32(7):1306-1310,1317,6.基金项目
国家自然科学基金(51102288) （51102288）
重庆市自然基金重点项目(CSTC2011BA4027) （CSTC2011BA4027）
电子薄膜与集成器件国家重点实验室开放基金(KFJJ201104) （KFJJ201104）
重庆市教委科学技术研究项目(KJ131402) （KJ131402）
大学生科技创新训练计划项目(2012028) （2012028）
