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氧气流量对MgxZn1-xO薄膜择优取向的影响

邵玉坤 韩舜 吕有明 曹培江 柳文军 曾玉祥 贾芳 朱德亮 马晓翠

人工晶体学报2013,Vol.42Issue(3):437-440,4.
人工晶体学报2013,Vol.42Issue(3):437-440,4.

氧气流量对MgxZn1-xO薄膜择优取向的影响

Influence of Oxygen Flow on the Preferred Orientation of MgxZn1-xO Film

邵玉坤 1韩舜 1吕有明 1曹培江 1柳文军 1曾玉祥 1贾芳 1朱德亮 1马晓翠1

作者信息

  • 1. 深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室,深圳518060
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摘要

关键词

ZnO/MgZnO/脉冲激光沉积/氧气流量

分类

数理科学

引用本文复制引用

邵玉坤,韩舜,吕有明,曹培江,柳文军,曾玉祥,贾芳,朱德亮,马晓翠..氧气流量对MgxZn1-xO薄膜择优取向的影响[J].人工晶体学报,2013,42(3):437-440,4.

基金项目

国家自然科学基金(60976036) (60976036)

深圳市科技计划项目 ()

深圳大学基础研究科研项目(201201) (201201)

深圳市特种功能材料重点实验室开放基金(T201205) (T201205)

人工晶体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-985X

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