红外技术Issue(9)：535-540,6.
CMOS兼容的微机械热电堆红外探测器的设计
Design of Micromechanical Thermopile Infrared Detector Compatible with CMOS Process
摘要
关键词
热电堆/红外探测器/CMOS兼容/谐振腔/TiNKey words
thermopile/infrared detectors/CMOS compatibility/resonant Cavity/TiN分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
高璇,郭涛,欧文,明安杰,刘谨..CMOS兼容的微机械热电堆红外探测器的设计[J].红外技术,2012,(9):535-540,6.基金项目
国家重点自然科学基金“无线、集成化无源传感器技术基础研究”,编号:61136006 （）
国家02专项“集成电路与传感器集成制造与生产技术”,编号:2011ZX02507 （）
