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聚苯乙烯基体上低介电常数介孔二氧化硅膜的制备

李方玉

科技创新与应用Issue(21)：8-8,9,2.
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科技创新与应用Issue(21)：8-8,9,2.

聚苯乙烯基体上低介电常数介孔二氧化硅膜的制备

李方玉1

作者信息

  • 1. 沈阳市环境保护工程设计研究院,辽宁 沈阳 110003
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摘要

关键词

薄膜/多孔/介孔二氧化硅膜/聚苯乙烯

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李方玉..聚苯乙烯基体上低介电常数介孔二氧化硅膜的制备[J].科技创新与应用,2012,(21):8-8,9,2.

科技创新与应用

2095-2945

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