物理学进展2013,Vol.33Issue(2):43-56,14.
高Al组分Ⅲ族氮化物结构材料及其在深紫外LED应用的进展
Development of high Al content structural Ⅲ nitrides and their applications in deep UV-LED
摘要
关键词
Ⅲ族氮化物/AlGaN/AlN/MOVPE/紫外LED分类
数理科学引用本文复制引用
陈航洋,刘达艺,李金钗,林伟,杨伟煌,庄芹芹,张彬彬,杨闻操,蔡端俊..高Al组分Ⅲ族氮化物结构材料及其在深紫外LED应用的进展[J].物理学进展,2013,33(2):43-56,14.基金项目
本工作得到"973"规划项目(2012CB619301、2011CB25600)、"863"计划项目(2011AA03A111)、国家自然科学基金项目(61227009、90921002)、中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(2012121014、CXB2011029)、福建省自然科学基金计划项目(2012J01024)等资助 (2012CB619301、2011CB25600)