中国科技成果Issue(19)：16-17,2.DOI:10.3772/j.issn.1009-5659.2012.19.005
相变随机存储器存储材料及关键技术
宋志棠 1谢志峰 2王晓东 3翟继卫 4冯洁 5何进6
作者信息
- 1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 2. 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 3. 中国科学院半导体研究所
- 4. 同济大学
- 5. 上海交通大学
- 6. 北京大学深圳研究生院
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宋志棠,谢志峰,王晓东,翟继卫,冯洁,何进..相变随机存储器存储材料及关键技术[J].中国科技成果,2012,(19):16-17,2.基金项目
国家863计划课题(2008AA031402) （2008AA031402）
