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浅论气体压强对金刚石薄膜质量的影响

孙鑫 丁喜峰 王文静

中国新技术新产品Issue(12)：55-56,2.
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中国新技术新产品Issue(12)：55-56,2.

浅论气体压强对金刚石薄膜质量的影响

孙鑫 1丁喜峰 2王文静1

作者信息

  • 1. 燕山大学理学院实验中心,河北秦皇岛066004
  • 2. 燕山大学理学院应用物理系,河北秦皇岛066004
  • 折叠

摘要

关键词

金刚石(薄膜)/MPCVD/气体压强/Raman光谱

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

孙鑫,丁喜峰,王文静..浅论气体压强对金刚石薄膜质量的影响[J].中国新技术新产品,2013,(12):55-56,2.

中国新技术新产品

1673-9957

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