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硬质合金基体金刚石涂层沉积工艺研究

户海峰 徐锋 左敦稳 赵云

机械制造与自动化2013,Vol.42Issue(5):44-47,4.
机械制造与自动化2013,Vol.42Issue(5):44-47,4.

硬质合金基体金刚石涂层沉积工艺研究

Research on Deposition Technology for Diamond Coating on Hard Alloy Substrate

户海峰 1徐锋 1左敦稳 1赵云1

作者信息

  • 1. 南京航空航天大学机电学院,江苏南京210016
  • 折叠

摘要

关键词

金刚石薄膜/沉积工艺/热丝化学气相沉积法/硬质合金

Key words

diamond film/deposition condition/hot filament CVD/hard alloy

分类

机械制造

引用本文复制引用

户海峰,徐锋,左敦稳,赵云..硬质合金基体金刚石涂层沉积工艺研究[J].机械制造与自动化,2013,42(5):44-47,4.

基金项目

国家自然科学基金(NO.51005117) (NO.51005117)

南京航空航天大学研究生创新基金(NO.kfjj20110223) (NO.kfjj20110223)

机械制造与自动化

OACSTPCD

1671-5276

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