计量学报2012，Vol.33Issue(z1)：1-5,5.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2012.z1.01
激光二坐标测量装置不确定度模型的研究和建立
Study and Establishment of Uncertainty Model for Laser Two Coordinates Measuring Instrument
摘要
关键词
计量学/坐标测量/影像测量/激光干涉/测量不确定度/二维线纹标准器Key words
Metrology/Coordinate measurement/Image measurement/Laser interferometry/Measurement uncertainty/2D photomask分类
通用工业技术引用本文复制引用
薛梓,叶孝佑,孙双花,王鹤岩,杨国梁..激光二坐标测量装置不确定度模型的研究和建立[J].计量学报,2012,33(z1):1-5,5.基金项目
国家科技基础条件平台项目(2005DKA107022) （2005DKA107022）
