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新型三维MEMS矢量水听器的设计

李振 张国军 薛晨阳

传感技术学报2013,Vol.26Issue(7):950-954,5.
传感技术学报2013,Vol.26Issue(7):950-954,5.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2013.07.010

新型三维MEMS矢量水听器的设计

Design of A Novel Three-Dimensional Vector Hydrophone Based on MEMS

李振 1张国军 2薛晨阳1

作者信息

  • 1. 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051
  • 2. 中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051
  • 折叠

摘要

关键词

矢量水听器/MEMS/ANSYS/仿生

Key words

vector hydrophone/MEMS/ANSYS/bionic

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

李振,张国军,薛晨阳..新型三维MEMS矢量水听器的设计[J].传感技术学报,2013,26(7):950-954,5.

基金项目

国家863计划项目(2011AA040404) (2011AA040404)

国家自然科学基金项目(51205374) (51205374)

国家自然科学基金专项基金项目(61127008) (61127008)

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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