人工晶体学报2013,Vol.42Issue(10):2059-2064,6.
TiO2/SiO2双层减反射膜的制备及其性能研究
Preparation and Properties of TiO2/SiO2 Double-layer Antireflecting Films
摘要
关键词
TiO2/SiO2/减反射膜/电子束蒸发/折射率Key words
TiO2/SiO2 / antireflecting film/ electron beam evaporation/ refractive index分类
数理科学引用本文复制引用
白红艳,涂洁磊,肖祥江,付蕊,赵沛坤,李烨..TiO2/SiO2双层减反射膜的制备及其性能研究[J].人工晶体学报,2013,42(10):2059-2064,6.基金项目
国家高技术研究发展计划项目(2011AA050512) (2011AA050512)